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温度控制器(热夹头)

与本公司探针台配合使用, 以评估器件的温度特性
※本公司晶圆探针台专用,故无法适用于其他公司探针台。

Model AT-200B  高温用 温度控制器
Model TC-6C  6英寸热夹头
Model TC-8  8英寸热夹头
Model TC-80H  8英寸低噪音热卡盘

可在+ 40°C至+ 300°C范围内设定
※ TC-80 H可以设置为200℃

特 征

操作简单
  • ■ 可以通过LCD触摸屏上的简单操作设置参数
  • ■ GP-IB接口控制支持热循环测试,顺序测量等的自动化
高速和高精度温度控制
  • ■ 通用PID控制和独特的控制方法相结合,可实现快速,高精度的温度控制
高精度测量
  • ■ 采用低干扰型直流稳压电源进行热源控制
  • ・ 降低干扰并实现高精度测量。
安全设计
  • ■ 过温保护器的安全设计,环境异常温度检测功能等
  • ・防止温度失控导致的事故以及测量设备,探针卡和探针台的损坏。

规 格

Hot Chuck Model TC-6C (for 6-inch wafer)/TC-8 (for 8-inch wafer)

Maximum chuck size TC-6C TC-8
φ150mm φ200mm
Range of set temperature From +40℃ to +300℃
Temperature distribution accuracy ≦±2.0℃
Temperature rise time +40℃ →+300℃: within 40 minutes +40℃ →+300℃: within 50 minutes
Temperature fall time +300℃ →+40℃: within 60 minutes +300℃ →+40℃: within 100 minutes

Low Noise Type Hot Chuck TC-80H (for 8-inch wafer)

Maximum chuck size φ200mm
Range of set temperature From +40℃ to +200℃
Temperature distribution accuracy ≦±(Setting temp. 0.5%+0.5℃)
Temperature rise time +40℃→+200℃: within 40 minutes
Temperature fall time +200℃ →+40℃: within 90 minutes

Temperature Controller for Hot Chuck Model AT-200B

Temperature indication accuracy ≦±0.5℃
Temperature stability ≦±1.0℃
Temperature resolution Setting: 0.1℃   Indication: 0.1℃
Control interface GP-IB
External dimensions (WxDxH)* 430mm×596mm×203mm
System weight* About 54kg
(including 31 kg DC power supply, excluding chiller unit)

*Example of AT-200B standard configuration

温度控制器对应表

Temperature
Controller
Hot chuck /
Thermal chuck
Prober model
705C MP-10C 705A-WG7 708fT AP-80A
AT-200B
(for high temperature)
TC-6C / TC-8
TC-80H

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