温度控制器(热夹头)
与本公司探针台配合使用， 以评估器件的温度特性
※本公司晶圆探针台专用，故无法适用于其他公司探针台。
Model AT-200B 高温用 温度控制器
Model TC-6C 6英寸热夹头
Model TC-8 8英寸热夹头
Model TC-80H 8英寸低噪音热卡盘
可在+ 40°C至+ 300°C范围内设定
※ TC-80 H可以设置为200℃
特 征
操作简单
- ■ 可以通过LCD触摸屏上的简单操作设置参数
- ■ GP-IB接口控制支持热循环测试，顺序测量等的自动化
高速和高精度温度控制
- ■ 通用PID控制和独特的控制方法相结合，可实现快速，高精度的温度控制
高精度测量
- ■ 采用低干扰型直流稳压电源进行热源控制
- ・ 降低干扰并实现高精度测量。
安全设计
- ■ 过温保护器的安全设计，环境异常温度检测功能等
- ・防止温度失控导致的事故以及测量设备，探针卡和探针台的损坏。
规 格
Hot Chuck Model TC-6C (for 6-inch wafer)/TC-8 (for 8-inch wafer)
| Maximum chuck size | TC-6C | TC-8 |
|---|---|---|
| φ150mm | φ200mm | |
| Range of set temperature | From +40℃ to +300℃ | |
| Temperature distribution accuracy | ≦±2.0℃ | |
| Temperature rise time | +40℃ →+300℃: within 40 minutes | +40℃ →+300℃: within 50 minutes |
| Temperature fall time | +300℃ →+40℃: within 60 minutes | +300℃ →+40℃: within 100 minutes |
Low Noise Type Hot Chuck TC-80H (for 8-inch wafer)
| Maximum chuck size | φ200mm |
|---|---|
| Range of set temperature | From +40℃ to +200℃ |
| Temperature distribution accuracy | ≦±(Setting temp. 0.5%+0.5℃) |
| Temperature rise time | +40℃→+200℃: within 40 minutes |
| Temperature fall time | +200℃ →+40℃: within 90 minutes |
Temperature Controller for Hot Chuck Model AT-200B
| Temperature indication accuracy | ≦±0.5℃ |
|---|---|
| Temperature stability | ≦±1.0℃ |
| Temperature resolution | Setting: 0.1℃ Indication: 0.1℃ |
| Control interface | GP-IB |
| External dimensions (WxDxH)* | 430mm×596mm×203mm |
| System weight* | About 54kg (including 31 kg DC power supply, excluding chiller unit) |
*Example of AT-200B standard configuration
温度控制器对应表
| Temperature Controller |
Hot chuck / Thermal chuck |
Prober model | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 705C | MP-10C | 705A-WG7 | 708fT | AP-80A | ||
| AT-200B (for high temperature) |
TC-6C / TC-8 | ○ | ○ | ○ | ||
| TC-80H | ○ | ○ | ||||
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