产 品 信 息PRODUCT INFOMATION

手动探针台(8英寸 微小电流测定用)

Model 708fT

该手动探针能够测量fA水平的小电流。

特 征

微电流测量
  • ■ 保护和屏蔽的三重结构可以测量fA水平的小电流
  • ■ 通过彻底的防护结构实现低噪音,高精度测量
操作简单
  • ■ 空气轴承平台可单手操作
  • ・可以在短时间内进行阶段对准,从而提高测量效率。
安全设计
  • ■ 安全锁定机构可有效避免因CONTACT时的误操作所导致的Device和探针台的损伤。
  • ・减少不必要的 Device的重制,重新测试,探针维护等工序
定制
  • ■ 温度依赖特性可以使用热夹头(+ 40℃至+ 200℃)进行评估
  • ■ 可定制用于其他目的

规 格

Model 708fT
Manual Prober for Low Current Measurement (for 8-inch wafer)

Maximum wafer size φ200mm
Stage travel
(rough adjustment)
X: 220mm Y: 270mm
Sub-stage travel
(fine adjustment)
X: 10mm Y: 10mm
Z stroke 0 / 0.3 / 3.5mm+3mm
Θ travel ±5°
External dimensions
(WxDxH)
897mm×863mm×400mm (excluding options)
System weight 120kg (excluding options)

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  • ・配件
  • ・选项
  • ・ 温度控制器(热夹头)