产 品 信 息PRODUCT INFOMATION

手动探针台(12英寸)

Model 705A-WG7

这是一款通用型手动探测器,用于分析最大12英寸的晶圆。

特 征

操作简单
  • ■ 采用空气轴承平台,单手操作简单
  • ・ 可以在短时间内进行阶段对准,从而提高测量效率。
广泛的接触区域
  • ■ 采用滑动台确保了广泛的探测区域
  • ・ 这样可以在不移动被测设备的情况下提高评估工作的效率。
安全设计
  • ■ 安全锁定机制可防止因接触时误操作而损坏设备和探头
  • ・减少浪费的设备,重新设计测量和探头维护。
定制
  • ■ 可根据预期用途定制,例如安装各种显微镜和激光切割机

规 格

Model 705A-WG7
Manual Prober (for 12-inch wafer)

Maximum
device size
Wafer φ300mm
Large substrate 500mm×400mm
Stage travel
(rough adjustment)
X: 500mm Y: 400mm
 Sub-stage travel
(fine adjustment)
X: 25mm Y: 25mm
Z stroke 0 / 0.3 / 3.5mm+37.5mm
Θ travel Rough adjustment: ±45°
Fine adjustment: ±5°
External dimensions (WxDxH) 978mm×1,038mm×748mm

(excluding options)

System weight 130kg (excluding options)

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