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半自动探针台(8英寸 微小电流测定用)

Model AP-80A

Model AP-80

这种半自动探针台能够测量fA水平的微小电流。
测量和分析的效率和准确性可实现兼容。

特 征

微小电流测量
  • ■ 使用保护电位技术的结构可以实现fA水平的精细电流测量。
  • ■ 低噪声和高精度测量
操作简单
  • ■ 操纵杆的外部自动控制和手动操作(6种运动模式)
  • ・ 半自动操作和手动操作都很容易,有助于提高测量效率。
标准符合主要测量仪器制造商的系统和软件商的系统和软件技术
  • ■ Keysight Technologies
  • ・B1500A Semiconductor Device Analyzer
  • ・Desktop EasyEXPERT/Spark software
  • ■ Keithley Instruments
  • ・ACS(测量软件)安装系统和测量仪器
  • ■其他测量仪器控制和软件的自定义适应性
各种选项和自定义
  • ・ 使用热卡盘(+ 40°C至+ 200°C)评估温度相关特性的措施
  • ・ 使用探针卡适配器可以连接微小电流用探针卡。
  • ・ 可根据预期用途定制

规 格

Model AP-80A
Semi-Automatic Prober for Low Current Measurement (for 8-inch wafer)

Maximum wafer size Φ200mm
Stage travel X:210mm Y:250mm
Travel resolution 1μm
Accuracy in the positioning stage ±10μm
Repeat accuracy in the positioning stage ±2μm
Ζ stroke 9mm+0.5mm (overdrive)
Θ stroke ±5°
Control Interface GP-IB
External dimension(WxDxH) 820×930×1,220mm (excluding options)
System weight 500kg (excluding options)

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  • ・ 配件
  • ・ 选项
  • ・温度控制器(热夹头)